論文主要以(yi)半(ban)導(dao)體鍺(zang)和(he)貴(gui)金屬金兩種材(cai)料(liao)為(wei)對象，研究了白光干涉(she)法(fa)、表面等(deng)離(li)子體共振(zhen)法(fa)和(he)外(wai)差干涉(she)法(fa)實現納米級(ji)薄(bo)膜厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)準確測(ce)(ce)量(liang)(liang)的可(ke)行性。由(you)于(yu)不同(tong)材(cai)料(liao)薄(bo)膜的特(te)性不同(tong)，所適(shi)用的測(ce)(ce)量(liang)(liang)方法(fa)也(ye)不同(tong)。半(ban)導(dao)體鍺(zang)膜具有折(zhe)射(she)率(lv)高(gao)，在(zai)通信(xin)波段（1550nm附近）不透明(ming)的特(te)點，選(xuan)擇采用白光干涉(she)的測(ce)(ce)量(liang)(liang)方法(fa)；而厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)更薄(bo)的金膜的折(zhe)射(she)率(lv)為(wei)復(fu)數(shu)(shu)，且(qie)能激發的表面等(deng)離(li)子體效(xiao)應，因而可(ke)借(jie)助基于(yu)表面等(deng)離(li)子體共振(zhen)的測(ce)(ce)量(liang)(liang)方法(fa)；為(wei)了進一步改善測(ce)(ce)量(liang)(liang)的精(jing)度(du)(du)，論文還研究了外(wai)差干涉(she)測(ce)(ce)量(liang)(liang)法(fa)，通過引(yin)入高(gao)精(jing)度(du)(du)的相位(wei)解調手段，檢(jian)測(ce)(ce)P光與S光之間的相位(wei)差提升厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)測(ce)(ce)量(liang)(liang)的精(jing)度(du)(du)。白光干涉(she)膜厚(hou)(hou)(hou)測(ce)(ce)量(liang)(liang)技(ji)術(shu)可(ke)以(yi)對薄(bo)膜的各項光學(xue)參數(shu)(shu)進行聯(lian)合測(ce)(ce)量(liang)(liang)和(he)分析。吉安膜厚(hou)(hou)(hou)儀廠家現貨

干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)法(fa)[9-10]是(shi)(shi)(shi)基于(yu)(yu)光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)原(yuan)(yuan)理實現(xian)(xian)對(dui)(dui)薄膜(mo)厚(hou)(hou)度測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)學方(fang)(fang)法(fa)，是(shi)(shi)(shi)一種高(gao)精(jing)度的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)技(ji)術。采用光(guang)(guang)(guang)(guang)學干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)原(yuan)(yuan)理的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)系統(tong)一般(ban)具有(you)(you)結構簡(jian)單，成(cheng)本低廉，穩(wen)定(ding)性好，抗干(gan)(gan)(gan)(gan)擾(rao)能力強，使用范圍(wei)廣(guang)等優點。對(dui)(dui)于(yu)(yu)大(da)多數的(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)任務，都(dou)是(shi)(shi)(shi)通(tong)過(guo)薄膜(mo)表(biao)(biao)面(mian)和(he)基底表(biao)(biao)面(mian)之間產生的(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)條紋(wen)的(de)(de)(de)(de)(de)形狀和(he)分(fen)布規律，來(lai)(lai)研(yan)究干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)裝置中(zhong)待(dai)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)物理量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)引(yin)入的(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)程差(cha)或者(zhe)(zhe)是(shi)(shi)(shi)位(wei)相差(cha)的(de)(de)(de)(de)(de)變化(hua)，從(cong)而(er)達到測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)目的(de)(de)(de)(de)(de)。光(guang)(guang)(guang)(guang)學干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)(fang)法(fa)的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)精(jing)度可(ke)達到甚至優于(yu)(yu)納米量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)級，而(er)利用外差(cha)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)進行測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)，其精(jing)度甚至可(ke)以(yi)達到10-3nm量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)級[11]。根據所使用光(guang)(guang)(guang)(guang)源的(de)(de)(de)(de)(de)不同，干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)(fang)法(fa)又(you)可(ke)以(yi)分(fen)為激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)兩大(da)類(lei)。激(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)辨率更高(gao)，但是(shi)(shi)(shi)不能實現(xian)(xian)對(dui)(dui)靜態信號的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)，只能測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)輸出信號的(de)(de)(de)(de)(de)變化(hua)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)或者(zhe)(zhe)是(shi)(shi)(shi)連續信號的(de)(de)(de)(de)(de)變化(hua)，即只能實現(xian)(xian)相對(dui)(dui)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)。而(er)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)是(shi)(shi)(shi)通(tong)過(guo)對(dui)(dui)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)信號中(zhong)心(xin)條紋(wen)的(de)(de)(de)(de)(de)有(you)(you)效識別來(lai)(lai)實現(xian)(xian)對(dui)(dui)物理量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)，是(shi)(shi)(shi)一種測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)(fang)式(shi)，在薄膜(mo)厚(hou)(hou)度的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)中(zhong)得到了廣(guang)泛的(de)(de)(de)(de)(de)應用。黑(hei)龍江國(guo)產膜(mo)厚(hou)(hou)儀白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)膜(mo)厚(hou)(hou)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)技(ji)術可(ke)以(yi)通(tong)過(guo)對(dui)(dui)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)曲線的(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)析實現(xian)(xian)對(dui)(dui)薄膜(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)厚(hou)(hou)度測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)。

白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)涉頻(pin)域(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)解(jie)(jie)調(diao)(diao)(diao)(diao)(diao)顧名思義是在(zai)(zai)頻(pin)域(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)分析(xi)解(jie)(jie)調(diao)(diao)(diao)(diao)(diao)信(xin)(xin)(xin)號(hao)，測量裝(zhuang)置與時域(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)解(jie)(jie)調(diao)(diao)(diao)(diao)(diao)裝(zhuang)置幾(ji)乎相(xiang)同，只需把光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)強測量裝(zhuang)置換為光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜儀(yi)或者(zhe)是CCD，接(jie)收(shou)到(dao)的(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)是光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)強隨(sui)著(zhu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)波(bo)長(chang)(chang)的(de)(de)分布。由于時域(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)解(jie)(jie)調(diao)(diao)(diao)(diao)(diao)中(zhong)(zhong)接(jie)收(shou)到(dao)的(de)(de)信(xin)(xin)(xin)號(hao)是一定范圍內所有(you)(you)波(bo)長(chang)(chang)的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)強疊加，因此將(jiang)頻(pin)譜信(xin)(xin)(xin)號(hao)中(zhong)(zhong)各(ge)個波(bo)長(chang)(chang)的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)強疊加，即可(ke)得到(dao)與它對(dui)應的(de)(de)時域(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)接(jie)收(shou)信(xin)(xin)(xin)號(hao)。由此可(ke)見(jian)，頻(pin)域(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)的(de)(de)白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)涉條(tiao)紋不僅包(bao)含了時域(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)涉條(tiao)紋的(de)(de)所有(you)(you)信(xin)(xin)(xin)息(xi)，還包(bao)含了時域(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)干(gan)涉條(tiao)紋中(zhong)(zhong)沒有(you)(you)的(de)(de)波(bo)長(chang)(chang)信(xin)(xin)(xin)息(xi)。在(zai)(zai)頻(pin)域(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)干(gan)涉中(zhong)(zhong)，當兩束相(xiang)干(gan)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程(cheng)差遠大(da)于光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源的(de)(de)相(xiang)干(gan)長(chang)(chang)度時，仍可(ke)以(yi)(yi)在(zai)(zai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜儀(yi)上觀察(cha)到(dao)頻(pin)域(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)干(gan)涉條(tiao)紋。這(zhe)是由于光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜儀(yi)內部(bu)的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)柵具有(you)(you)分光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)作用，能夠將(jiang)寬譜光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)變成(cheng)窄帶光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜，從而增(zeng)加了光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜的(de)(de)相(xiang)干(gan)長(chang)(chang)度。這(zhe)一解(jie)(jie)調(diao)(diao)(diao)(diao)(diao)技術的(de)(de)優點就是在(zai)(zai)整個測量系統中(zhong)(zhong)沒有(you)(you)使(shi)用機械掃描(miao)部(bu)件(jian)，從而在(zai)(zai)測量的(de)(de)穩定性(xing)和(he)可(ke)靠性(xing)上得到(dao)很大(da)的(de)(de)提高。常(chang)見(jian)的(de)(de)頻(pin)域(yu)(yu)(yu)(yu)(yu)解(jie)(jie)調(diao)(diao)(diao)(diao)(diao)方法有(you)(you)峰峰值檢測法、傅(fu)里葉解(jie)(jie)調(diao)(diao)(diao)(diao)(diao)法以(yi)(yi)及傅(fu)里葉變換白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)涉解(jie)(jie)調(diao)(diao)(diao)(diao)(diao)法等。

開展白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)(she)理論分(fen)析，在此(ci)基(ji)(ji)礎詳細介紹了(le)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)垂(chui)直掃描干(gan)涉(she)(she)(she)技術(shu)(shu)和白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)反(fan)射(she)(she)光(guang)(guang)譜技術(shu)(shu)的(de)基(ji)(ji)本(ben)原(yuan)理，完(wan)成了(le)應用于靶(ba)丸(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)折射(she)(she)率(lv)和厚(hou)(hou)(hou)度(du)分(fen)布測量(liang)(liang)實驗裝置的(de)設計及(ji)搭建。該(gai)(gai)實驗裝置主要由白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)反(fan)射(she)(she)光(guang)(guang)譜探測模(mo)(mo)(mo)塊、靶(ba)丸(wan)(wan)吸附(fu)(fu)轉位模(mo)(mo)(mo)塊、三維運動模(mo)(mo)(mo)塊、氣(qi)浮隔震平臺(tai)等幾部分(fen)組成，可(ke)實現靶(ba)丸(wan)(wan)的(de)負壓吸附(fu)(fu)、靶(ba)丸(wan)(wan)位置的(de)精密調整以(yi)及(ji)靶(ba)丸(wan)(wan)360°范圍的(de)旋轉及(ji)特定角度(du)下靶(ba)丸(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)反(fan)射(she)(she)光(guang)(guang)譜的(de)測量(liang)(liang)。基(ji)(ji)于白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)垂(chui)直掃描干(gan)涉(she)(she)(she)和白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)反(fan)射(she)(she)光(guang)(guang)譜的(de)基(ji)(ji)本(ben)原(yuan)理,建立了(le)二者聯用的(de)靶(ba)丸(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)折射(she)(she)率(lv)測量(liang)(liang)方法，該(gai)(gai)方法利用白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)反(fan)射(she)(she)光(guang)(guang)譜測量(liang)(liang)靶(ba)丸(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)光(guang)(guang)學(xue)厚(hou)(hou)(hou)度(du)，利用白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)垂(chui)直掃描干(gan)涉(she)(she)(she)技術(shu)(shu)測量(liang)(liang)光(guang)(guang)線通過靶(ba)丸(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)后的(de)光(guang)(guang)程(cheng)增量(liang)(liang)，二者聯立即可(ke)求得(de)靶(ba)丸(wan)(wan)折射(she)(she)率(lv)和厚(hou)(hou)(hou)度(du)數據。白(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)(she)膜厚(hou)(hou)(hou)測量(liang)(liang)技術(shu)(shu)可(ke)以(yi)對薄膜的(de)厚(hou)(hou)(hou)度(du)和形貌進行聯合測量(liang)(liang)和分(fen)析。

在初始相位為零的(de)(de)(de)情況下(xia)，當(dang)被(bei)測(ce)光(guang)(guang)與參考光(guang)(guang)之(zhi)間的(de)(de)(de)光(guang)(guang)程(cheng)(cheng)差為零時(shi)，光(guang)(guang)強度將達(da)到(dao)最(zui)大值(zhi)(zhi)(zhi)。為探測(ce)兩(liang)個光(guang)(guang)束之(zhi)間的(de)(de)(de)零光(guang)(guang)程(cheng)(cheng)差位置(zhi)(zhi)，需要精(jing)密Z向運動(dong)臺帶動(dong)干(gan)涉鏡頭作垂直(zhi)掃(sao)(sao)描運動(dong)或移動(dong)載物臺，垂直(zhi)掃(sao)(sao)描過(guo)(guo)程(cheng)(cheng)中(zhong)(zhong)，用探測(ce)器(qi)記錄下(xia)干(gan)涉光(guang)(guang)強，可(ke)得(de)白光(guang)(guang)干(gan)涉信號(hao)強度與Z向掃(sao)(sao)描位置(zhi)(zhi)（兩(liang)光(guang)(guang)束光(guang)(guang)程(cheng)(cheng)差）之(zhi)間的(de)(de)(de)變化曲線。干(gan)涉圖像序列(lie)中(zhong)(zhong)某(mou)波長處的(de)(de)(de)白光(guang)(guang)信號(hao)強度隨光(guang)(guang)程(cheng)(cheng)差變化示(shi)意圖，曲線中(zhong)(zhong)光(guang)(guang)強極(ji)大值(zhi)(zhi)(zhi)位置(zhi)(zhi)即為零光(guang)(guang)程(cheng)(cheng)差位置(zhi)(zhi)，通過(guo)(guo)零過(guo)(guo)程(cheng)(cheng)差位置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)精(jing)密定位，即可(ke)實現(xian)樣品表面(mian)相對位移的(de)(de)(de)精(jing)密測(ce)量(liang)(liang)；通過(guo)(guo)確(que)定最(zui)大值(zhi)(zhi)(zhi)對應的(de)(de)(de)Z向位置(zhi)(zhi)可(ke)獲得(de)被(bei)測(ce)樣品表面(mian)的(de)(de)(de)三維高度。白光(guang)(guang)干(gan)涉膜厚測(ce)量(liang)(liang)技(ji)術(shu)可(ke)以通過(guo)(guo)對干(gan)涉曲線的(de)(de)(de)分(fen)析實現(xian)對薄膜的(de)(de)(de)光(guang)(guang)學參數測(ce)量(liang)(liang)。廈門膜厚儀常見問(wen)題

白光干涉(she)膜(mo)厚(hou)測量(liang)(liang)技術是(shi)一種測量(liang)(liang)薄膜(mo)厚(hou)度的方法。吉安膜(mo)厚(hou)儀廠家現(xian)貨

干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)法(fa)與(yu)分(fen)光(guang)(guang)光(guang)(guang)度(du)(du)(du)法(fa)都是(shi)利用相(xiang)(xiang)干(gan)(gan)光(guang)(guang)形成(cheng)(cheng)等(deng)厚(hou)(hou)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)條紋的(de)原理來確定薄膜厚(hou)(hou)度(du)(du)(du)和(he)(he)折射率，然而與(yu)薄膜自發產生(sheng)(sheng)的(de)等(deng)傾干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)不同(tong)，干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)法(fa)是(shi)通過設置(zhi)參(can)考(kao)(kao)光(guang)(guang)路，形成(cheng)(cheng)與(yu)測(ce)量(liang)(liang)(liang)光(guang)(guang)路間(jian)的(de)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)條紋，因此其相(xiang)(xiang)位(wei)信息包含兩個部(bu)分(fen)，分(fen)別是(shi)由(you)參(can)考(kao)(kao)平面和(he)(he)測(ce)量(liang)(liang)(liang)平面間(jian)掃(sao)描高度(du)(du)(du)引(yin)(yin)起的(de)附加(jia)相(xiang)(xiang)位(wei)和(he)(he)由(you)透(tou)明薄膜內(nei)部(bu)多次(ci)反射引(yin)(yin)起的(de)膜厚(hou)(hou)相(xiang)(xiang)位(wei)。干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)法(fa)測(ce)量(liang)(liang)(liang)光(guang)(guang)路使用面陣CCD接(jie)收參(can)考(kao)(kao)平面和(he)(he)測(ce)量(liang)(liang)(liang)平面間(jian)相(xiang)(xiang)干(gan)(gan)波面的(de)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)光(guang)(guang)強分(fen)布，不同(tong)于以上三(san)種點測(ce)量(liang)(liang)(liang)方式，可一次(ci)性生(sheng)(sheng)成(cheng)(cheng)薄膜待測(ce)區域的(de)表(biao)面形貌信息，但(dan)同(tong)時由(you)于存在大量(liang)(liang)(liang)軸向(xiang)掃(sao)描和(he)(he)數據解(jie)算，完成(cheng)(cheng)單次(ci)測(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)時間(jian)相(xiang)(xiang)對較長。吉安膜厚(hou)(hou)儀廠家現貨

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